2025-01-23 23:57:40
衬底（Substrate）在半导体器件制造过程中，是指用于支持和构建其他功能层的基础材料。衬底可以根据其制造工艺和用途分为化学衬底和物理衬底。化学衬底：通过化学气相沉积（CVD）等化学方法生成的衬底，通常用于制造薄膜器件或作为特殊用途的结构支撑。例如，在有机电子器件中，化学衬底可以是由有机材料或多层
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